·氟和其他鹵素
·金屬和金屬氧化物
·有機化合物
·提高粘晶和打線的粘合力
·提高塑封膠粘合力，降低分層
·提高粘晶膠流動性，消除空洞，提高粘合力
·提高塑封材料流動性，消除空洞，降低打線偏離率
·提高底部填充物流動性，消除空洞，增強粘合力，提高芯吸速度
FlexTRAK-CD系統擁有一個等離子腔，每個等離子周期內可處理多達5根料條。均勻處理所有基底表面的同時，始 終嚴格控制工藝參數以獲得可重復性效果。此外，系統還擁有一個獲得專利的等離子體模塊，可實現優異的均勻 性和跨周期的工藝可重復性。
FlexTRAK-CDS系統具有大容量等離子腔體，每個等離子周期內可處理多達10根料條。均勻處理所有基底表面的同 時，始終嚴格控制工藝參數以獲得可重復性效果
系統核心功能FlexTRAK-CD系統擁有一個等離子腔，每個等離子周期內可處理多達5根料條。均勻處理所有基底表面的同時，始 終嚴格控制工藝參數以獲得可重復性效果。此外，系統還擁有一個獲得專利的等離子體模塊，可實現優異的均勻 性和跨周期的工藝可重復性。
| 項 目 | 內 容 | |
| 外 殼
尺 寸 |
W(寬)xD(長)xH(高) - 占地面積 | FlexTRAK-CD：1068寬x1166長x1600高；高1966mm，帶燈塔（42寬x46長x63高；包含燈塔高度為77英寸） |
|---|---|---|
| FlexTRAK-CDS：1190寬x1320長x1640高；包含燈塔高度為2114mm（47寬x52長x65高；包含燈塔高度為83英寸 | ||
| 凈重 | FlexTRAK-CD：430公斤（948磅） | |
| FlexTRAK-CDS：550公斤（1213磅） | ||
| 設備間隙 | 右邊，左邊，后面 - 254毫米（10英寸），前面 - 940毫米（37英寸） | |
| 處 理
腔 體 |
最大容量 | FlexTRAK-CD：5.5升（338立方厘米） |
| FlexTRAK-CDS：9.6升 （585立方英寸） | ||
| 電 極 | 多種電極配置 | 電源-接地、接地-電源、電源-電源 |
| 工作區 | FlexTRAK-CD：305毫米（寬）x 305毫米（長）（12英寸（寬） x 12英寸（長）） | |
| FlexTRAK-CDS：305mm寬x550mm長（12英寸寬x21英寸長） | ||
| 射 頻 電 源 |
標配電源 | 600 瓦 |
| 流量計 | 13.56 兆赫 | |
| 氣 體 控 制 |
可用流量 | 50、100或250標準毫升/分鐘 |
| MFC最多可配置數 | 3 | |
| 控制和 接 口 |
軟件控制 | 外部外設控制器（EPC），配有PC端觸摸屏界面 |
| 遠程接口 | SMEMA接口、SECS/GEM協議 | |
| 真空泵 | 標準干泵 | 16立方英尺/分鐘 |
| 選配濕泵 | 19.5立方英尺/分鐘 | |
| 選配凈化干泵 | 16立方英尺/分鐘 | |
| 干泵凈化氮氣用量 | 2升/分鐘 | |
| 設 施 | 電源 | 220 伏交流電，15安培，50/60赫茲，1相，12 AWG3線 |
| 工藝氣體管徑及接口 | 外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管 | |
| 工藝氣體純度 | 實驗室或電子等級 | |
| 工藝氣體壓力 | 最小0.69巴（10磅/平方英寸）至最大1.03巴（15磅/平方英寸），可調節 | |
| 凈化氣體管徑及接口 | 外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管 | |
| 凈化氣體純度 | 實驗室或電子等級 N2/CDA | |
| 凈化氣體壓力 | 最小2巴（30 磅/平方英寸）至最大6.9巴（100 磅/平方英寸），可調節 | |
| 氣動閥接口及管徑 | 外徑6.35毫米（0.25英寸）Swagelok管 | |
| 壓縮空氣純度 | CDA、無油、露點溫度≤7°C（45°F）、粒徑＜5微米 | |
| 壓縮空氣壓力 | 最小3.45巴（50 磅/平方英寸）至最大6.89巴（100 磅/平方英寸），可調節 | |
| 排放 | 外徑25.4毫米（1英寸）管道法蘭 | |
| 合規性 | 半導體 | 通過SMEI S2/S8（環境、健康和安全/人體工學）認證 |
| 國際 | 通過CE認證 | |
| 輔助設備 | 氣體發生器 | 氮氣（需要其他不可選硬件） |
